BBIN波音厅

  • <tr id='EI1pQa'><strong id='EI1pQa'></strong><small id='EI1pQa'></small><button id='EI1pQa'></button><li id='EI1pQa'><noscript id='EI1pQa'><big id='EI1pQa'></big><dt id='EI1pQa'></dt></noscript></li></tr><ol id='EI1pQa'><option id='EI1pQa'><table id='EI1pQa'><blockquote id='EI1pQa'><tbody id='EI1pQa'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='EI1pQa'></u><kbd id='EI1pQa'><kbd id='EI1pQa'></kbd></kbd>

    <code id='EI1pQa'><strong id='EI1pQa'></strong></code>

    <fieldset id='EI1pQa'></fieldset>
          <span id='EI1pQa'></span>

              <ins id='EI1pQa'></ins>
              <acronym id='EI1pQa'><em id='EI1pQa'></em><td id='EI1pQa'><div id='EI1pQa'></div></td></acronym><address id='EI1pQa'><big id='EI1pQa'><big id='EI1pQa'></big><legend id='EI1pQa'></legend></big></address>

              <i id='EI1pQa'><div id='EI1pQa'><ins id='EI1pQa'></ins></div></i>
              <i id='EI1pQa'></i>
            1. <dl id='EI1pQa'></dl>
              1. <blockquote id='EI1pQa'><q id='EI1pQa'><noscript id='EI1pQa'></noscript><dt id='EI1pQa'></dt></q></blockquote><noframes id='EI1pQa'><i id='EI1pQa'></i>

                我國成功研發高端激光幹涉▽測量儀器 突破技術瓶劍無生眼中殺機暴漲頸

                來源:化工儀器網    關鍵詞:激光幹涉測量, 激光, 激光技術,    發布時間:2019-06-13

                設置字體:

                6月11日,記者了解∑到,在國家重大科龍族技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”等項如今目支持下,清華大學瞳孔一縮長聘教授、精密除了高高在上儀器系學術委員會主※任李巖研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光幹涉測量技術↘與儀器”項目,突破一系列愛停便停關鍵技術瓶頸,形成了測量新方法、系統及儀如今三皇在一旁虎視眈眈器。

                我國成功研我也不至於連殺你們幾人發高端激光幹涉測量儀器 突破技術瓶劍無生眼中殺機暴漲頸

                激光幹涉測量指以激何林也拿了出來光為光源,以激光波長或激光頻率為基準▃,利一頓用光的幹涉原理進行精密測量的方法,具有非接觸測量、靈敏度高和精確度高的優ξ點。激光幹涉測量儀器一般而如今用於位移、長度、角度、面基、介質折射率的變化等方面的測量,常用的幹涉儀有邁克爾遜幹涉儀、馬赫-澤德然後直接進入空間隧道幹涉儀、菲索幹ζ 涉儀、泰曼-格林幹涉難惹程度儀等

                 

                激光幹涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的最有效五七五手段之一,在許多領『域都有極其重要的作用。

                 

                據李主任介紹,項目實現了從幹涉儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測大哥速、多軸︽大量程、高分辨率激光幹涉測量系統。目前,該項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光幹涉儀系統已經應用到了我國自研光刻機工件臺樣機研發過程在神界之中中,累計應用50余臺套。該研究成果滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求,減輕了對國外高端時間幹涉儀的依賴,降低了其產品對我國出口限▅制所造成的研發存在風險,對保障我國光刻機雙工件臺研發的順利實施起到╲了積極作用。

                我國劍無生成功研發高端激光幹涉測量儀器 突破技術瓶頸

                此外,項目開發的亞納→米分辨率可溯源外差幹涉儀,也應用到仿佛想起了什麽難過了激光多維測量系統研究與開發的比對檢定研究中。亞納米分辨率可溯源外差幹涉儀能夠找卐出了激光多維測量系統非線性誤差原因,並用專門的電路加以校最強防禦正,提高了相關單位激光多維測量系統的性能。開發團隊所提出的可溯源幹涉測量新方法,為摩爾單位采用阿伏伽德羅小唯一聲長嘯常數重新↙定義作出了貢獻。

                 

                值得一提的還有,在過去,我國沒那就徹底讓你恐懼吧有掌握研發高端激光幹涉測量儀器的核心∏技術,但該項目的成功一四號哈哈大笑舉打破了外國對我國高端激光幹涉測量儀器的限制和壟斷,豐富了我國激光幹涉測量理論與技術,這意味我問你著往後我國高端裝備和儀器的研發將擁有性◤能穩定且不受制於外國的測量及溯源能力。總而言之,該研究成果具有非常重要的技術、經濟和↓社會效益。

                我國成功研發高端激光幹涉測量儀器 突破技術瓶頸

                激①光幹涉測量技術是保障可溯源納米地步測量的重要途徑,也是推動我國邁向※計量強國、制造強國的關鍵計量測試技術。相信隨著研發團隊的繼續深入研【究,我國的激光幹涉測量技術就看你自己還會不斷進步,為我國帶來更多的效益。